从概念上来说，VPSA（Vacuum Pressure Swing Adsorption）制氧装置，中文叫低压吸附真空解吸制氧设备。是指在低压条件下将空气中的氮气氧气吸入，吸附饱和后分子筛在真空的条件下解吸，将氮气从排放口排放，氧气进入提纯系统，分子筛不断的吸附解压从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。VPSA制氧设备主要由鼓风机、真空泵、冷却器、吸附系统、氧气缓冲罐、控制系统组成；

PSA（Pressure Swing Absorption）制氧装置，中文名叫变压吸附制氧。其原理是利用分子筛对不同气体分子''吸附''性能的差异而将气体混合物分开。它是以空气为原材料，利用一种高效能、高选择的固体吸附剂对氮和氧的选择性吸附的性能把空气中的氮和氧分离出来。在常温常压的条件下，利用PSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，从而取得纯度较高的氧气。

严格意义上来说，VPSA（低压吸附真空解吸）制氧是PSA制氧的另一种“变体”，他们的制氧原理几乎一致，都是利用分子筛对不同气体分子“吸附”能力将气体混合物分离开来，只不过PSA制氧的是通过加压吸附，常压解吸来分离出氧气，VPSA制氧机则是在真空条件下对吸附饱和的分子筛进行解吸。

VPSA制氧机的技术指标如下↓↓：

◆产品规模：100-10000Nm3/h

◆氧气纯度：≥90-94%，可根据用户要求在30-95%范围内调整。

◆制氧电耗：氧纯度在90%时，折合为纯氧的电耗为0.32-0.37KWh/ Nm3

◆氧气压力：≤20kpa（可增压）

PSA制氧机的技术指标如下↓↓

◆纯度：93%+2%（标准型为93%）

◆压力：≥0.2Mpa

◆露点：<-40℃（常压）

◆产量：3~200Nm3/h

◆功率：≥95%

由上述指标对比可以看出，VPSA和PSA的技术上的区别如下；

1、VPSA制氧机是用鼓风机来获取原料空气并增压，而PSA制氧机是使用空压机来进行供气。

2、在核心组成部分——沸石分子筛的选择上，PSA制氧机使用的是钠分子筛，VPSA制氧机使用的是锂分子筛。

3、PSA制氧机的吸附压力通常有0.6~0.8Mpa，VPSA制氧机的吸附压力是0.05Mpa。

4、PSA单机产气量可以达到200~300Nm³/h，VPSA单机产气量可以达到7500~9000Nm³/h。

5、VPSA相对于PSA而言，能耗低（生产每方氧气的电耗≤0.5 kW），更加环保，绿色。

但是，VPSA制氧机虽然单机制氧量大，但其不足之处在于系统设备相对复杂，设备体积也较大（比深冷装置还是要小一些），配套共用工程条件要求较多，会占用较大空间，且无法做成集装箱形式制氧设备。需要现场安装、调试，单从这一点上。PSA还是具有一定优势的。